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词语硅化物拆分为汉字：
硅字的拼音、笔画、偏旁部首、笔顺、繁体字，硅字字源来历，硅字演变
一种非金属元素，是一种半导体材料，可用于制作半导体器件和集成电路。旧称“矽”。……
化字的拼音、笔画、偏旁部首、笔顺、繁体字，化字字源来历，化字演变
1. 化 [huà]2. 化 [huā]化 [huà]性质或形态改变：变～。分～。僵～。教（jiào ）～。熔～。融～。潜移默～。～干弋为玉帛。。佛教、道教徒募集财物：～缘。～斋。用在名词或形容词后，表示转变成某种性质或状态：丑～。绿～。习……
物字的拼音、笔画、偏旁部首、笔顺、繁体字，物字字源来历，物字演变
人以外的具体的东西：事～。生～。～体。货～。礼～。文～。～价。～质。地大～博。～极必反。内容，实质：言之有～。指自己以外的人或跟自己相对的环境：～议（群众的批评）。待人接～。～望所归（众望所归）。……
查询词语：硅化物
汉语拼音：guī huà wù
以及在该栅极氧化层图案、该金属氮化层图案和该硅化物的侧面上的间隔物。
半导体结型二极管包括硅，所述硅与硅化物相接触时结晶化。
讨论了上述金属硅化物的性能评价与缺陷，热稳定性的检测方法。
硅化物可以提供用于结晶化的模板，降低了硅的缺陷密度并且提高了其导电性。
探讨了采用不同复合物、不同制备方法和合成硅化物等改性方法来提高其循环性能的可行性。
在栅极、源极和漏极表面形成自对准金属硅化物。
一种微波氢等离子体制备金属硅化物薄膜的方法，用于薄膜制备领域。
本发明方法制备的金属硅化物层热稳定性高，且生长速度可控。
阐述了稀土金属硅化物的生长工艺和与硅衬底间势垒及界面特性。
稀土金属原子可与Si原子发生化学反应生成硅化物，这个反应甚至在室温下就可以进行，但比较缓慢。
金属硅化物薄膜是广泛应用于超大规模集成电路器件的重要电子材料。
对所述金属进行热退火形成金属硅化物层。
以及由金属和下栅极导体产生硅化物。
其它硅化物层（50.4-50.6）处于源极、漏极和多晶硅栅极的顶部。
所述多晶硅瓦片（14.1、14.2）具有硅化物层（50.1、50.2）。
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在该金属氮化层图案上的硅化物；
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